对于十万级无尘车间来说，需要根据实际生产流程设置相应的功能室，将人流物流趋势和运行效率一起考虑。在初步确定平面图的基础上，确定洁净区、非洁净区和洁净区的洁净度等级。然后确定相应的通风量或断面风速。然后放置回风口，规划洁净送风机组(尺寸、朝向、风机空调选型等。)，并规划回风风道等。

　　1.洁净室的布局

　　十万级无尘车间一般包括无尘区、准无尘区和辅助区。十万级无尘车间的平面布置有几种方式:

　　波纹游廊:游廊可以有窗，也可以没有窗，可以用来观景，放置一些设备，有的游廊有直热。外窗须是双层密封窗。

　　内走廊型:无尘车间位于外围，走廊位于内部。这种走廊的无尘程度普遍较高，甚至与无尘车间处于同一水平。

　　两端:一侧设置无尘区，另一侧设置准无尘及辅助用房。

　　中心:为了节省土地和缩短管道，无尘区可以居中，周围有各种辅助用房和遮蔽管道。这种方法避免了室外气候对无尘区的影响，降低了冷热能耗，有利于节能。

　　2.清扫道路

　　为了减少十万级无尘车间操作过程中人为活动造成的污染，人员在进入洁净区之前，须更换干净的衣服，洗手，消毒，通过风淋室。

　　在人员净化室中，更换无尘服的房间应送风，入口侧等其他房间应保持正压，卫生间、淋浴间应保持负压。

　　3材料净化道路

　　各种物品在送入无尘区之前都要经过净化处理。网。

　　物质净化道路应与个人净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间，也需要单独进入十万级无尘车间，物料要先经过粗净化处理。

　　在生产线不强的场合，可以在材料路中心设立中心仓库。

　　如果生产线很强，选择直通物料路，有时需要在直通路中央设置重复净化输送设备。

　　在十万级无尘车间系统规划上，洁净室的粗、精净化阶段会吹掉很多原生颗粒物，所以相对洁净区要坚持负压或零压，污染风险高的要在进口方向坚持负压。